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千級(jí)無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。萬級(jí)無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
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